Предыстория и обзор [1]
1-Винил-N-(винилдиметилсилил)-1,1-диметилсилиламин, также известный как 1,1,3,3-тетраметил-1,3-дивинилдисилазан, представляет собой бесцветную прозрачную жидкость, которую можно использовать. в производстве силиконовой резины, силиконового коллоида и винилсиликоновой смолы. В качестве промотора адгезии негативного фоторезиста.

Приложение [3]

В документе CN201110431560.9 предложен способ обработки пористого слоя со сверхнизкой диэлектрической постоянной, который включает: обеспечение полупроводникового устройства в реакционной камере, поверхность полупроводникового устройства, имеющую пористый слой со сверхнизкой диэлектрической постоянной, температуру в реакции температура в камере 300-400 ℃, давление 80-300 бар; Вводят в реакционную камеру раствор сверхкритической жидкости CO2, в котором растворен 1-винил-N-(винилдиметилсилил)-1,1-диметилсилиламин; Контактируйте раствор с пористым слоем со сверхнизкой диэлектрической постоянной.